氩气的净化方法

Release time：2025-01-07

对于气体而言，纯度是衡量气体质量高低的标准。氩气作为一种惰性气体，可以用作制造单晶和多晶的保护气体。为了提高硅晶体的质量，选择高纯度的氩气至关重要，这不仅可以延长晶体的使用寿命，还可以满足市场需求。

对于气体而言，纯度是衡量气体质量高低的标准。氩气作为一种惰性气体，可以用作制造单晶和多晶的保护气体。为了提高硅晶体的质量，选择高纯度的氩气至关重要，这不仅可以延长晶体的使用寿命，还能满足市场需求。
一般来说，氩气的净化过程是通过净化设备实现的，氩气的净化方法可以分为直接脱氧法和吸附剂净化法。
直接脱氧法：使用活性金属与氩气中的氧反应，消耗氩气中的氧以实现脱氧。氩气中被分子筛吸附的水分子减少到水分含量低于1ppm。
吸附剂净化法：使用吸附净化剂或干燥剂，吸附剂可以与氩气中的微量杂质形成稳定的化合物，从而达到精炼氩气的效果。经过吸附剂净化法净化后，高纯度氩气的纯度可以达到6 9s。